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        全球领先的湿法化学度量技术供应商ECI Technology近日宣布一家欧洲知名的半导体研究中心成功装载了On-Line Quali-Line QLC-7500 Chemical Monitoring System（CMS）。ECI Technology将在近期举行的SEMICON China中参展，展位号是4722。

        QLC-7500是一台在线分析设备，可用来监测和控制硅通孔（TSV）铜淀积工艺。它能精确测量电镀和填充工艺中无机成分和所有有机添加物的浓度。QLC-7XXX化学检测系统是铜电镀（大马士革）工艺最常用的分析设备，全球主要的半导体制造商均选择该系列设备。

关键词： ECI CMS 硅通孔