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2023 年 12 月 24 日，北京赛微电子股份有限公司发布关于全资子公司 MEMS-OCS 启动量产的公告，全资子公司 Silex Microsystems AB 以 MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems 的缩写，即微电子机械系统，简称为微机电系统）工艺为某客户制造的 OCS（Optical Circuit Switch 的缩写，即光链路交换器件）完成了工艺及性能验证（工艺开发与试产的总耗费时间超过 7 年），并于 2023 年 12 月 22 日收到该客户发出的批量采购订单，瑞典 Silex 开始进行 MEMS-OCS 的商业化规模量产。

据介绍，该 MEMS-OCS 基于 8 英寸 MEMS 工艺和设计技术制造，结构复杂精密，是一组由指定数量平面镜所构成的微镜阵列，可用于精确调节光链路的折射方向，实现光链路之间的信号切换与双向传播，提高运算系统的整体性能及稳定性，同时降低系统成本与功耗，可在数据中心网络、超算系统集群等场景中得到广泛应用。

IT 之家查询发现，北京赛微电子股份有限公司 2023 年 12 月 29 日又发布关于控股子公司 MEMS-IMU 通过验证并启动试产的公告，控股子公司赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司代工制造的某款 MEMS-IMU（Inertial Measurement Unit 的缩写，即惯性测量单元）通过了客户验证，赛莱克斯北京收到该客户发出的采购订单，启动首批 MEMS-IMU 8 英寸晶圆的小批量试生产。

据介绍，IMU 是惯性测量定位的核心，是测量物体三轴姿态角（或角速率）及加速度的关键装置。MEMS-IMU 基于 MEMS 工艺技术制造，具有体积小、重量轻、能耗低等特点，以微小形态采集运动载体的加速度与角速度等惯性信息，可实时输出高精度的三维位置、速度、姿态等信息，并用于姿态平衡控制、导航定位、动作执行等环节。由于通过半导体工艺进行生产制造，MEMS-IMU 往往还可以集成多种 MEMS 惯性传感器的功能，同时具备极好的环境适应性，可被广泛应用于智能手机、可穿戴设备（包括 AR / VR / MR）、无人系统、智能驾驶、人形机器人等领域。

关键词： MEMS-OCS 赛微电子