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据报道，三星首次引入韩国本土公司东进世美肯（Dongjin Semichem）研发的EUV光刻胶（EUV PR）进入其量产线，这也是三星进行光刻胶本土量产的首次尝试。在2019年经历与日本的光刻胶等关键原料的供应风波之后，三星就在尝试将关键原料的供应本土化，经过三年的努力，韩国实现了光刻胶本地化生产。

在日本限制出口、三星尝试重构EUV光刻胶的供应链之后，东进世美肯就已开始研发EUV光刻胶，并在去年通过了三星的可靠性测试，随后不到一年就被应用于三星的大规模生产线。不过，EUV光刻胶可用于3-50道程序，目前也还不确定是用于哪一工艺程序。

同三星电子整体的生产线相比，东进世美肯的EUV光刻胶用于一条工艺线还只是很小的一部分，但对于一种此前100%全部依赖进口的原材料，能用于一条工艺线也有特殊的意义。

由于需要考虑与海外供应商之间的关系等多重因素，目前还不清楚三星是否会将本土EUV光刻胶用于更多的工艺线，预计根据其表现将决定未来的供应是否增加。

光刻胶是指经过紫外光、深紫外光、电子束、离子束、X射线等光照或辐射后，溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料，是光刻工艺中的关键材料，主要应用于积体电路和分立器件的细微图形加工：当用半导体曝光设备照射光时，会发生化学反应并改变物理性质，通过用显影剂冲洗掉PR来绘制微电路，只留下必要的部分。

由于东进世美肯成为韩国第一家将光刻胶本地化并达到大规模生产水平的公司，永昌化学和SK材料性能也在开发光刻胶，但它们还没有达到可靠性验证的水平。

从整体业态来看，全球光刻胶市场高度集中，日美把控着绝大部分市场份额。日本的JSR、东京应化、信越化学及富士胶片四家企业占据了全球 70％以上的市场份额，垄断地位稳固。

关键词： 三星 韩国 EUV 光刻胶