MEMS加速渗透汽车应用领域
ebkit-text-stroke-width: 0px"> 9）微型硅压阻式MEMS压力传感器可用于发动机废气循环系统，替代陶瓷电容式压力传感器；
10）汽车空调压缩机中的压力测量也是MEMS的一个很大市场。
11）气缸内气压测量，爆缸控制；
12）燃油喷射系统，柴油共轨系统；
13）传动油压，变速自动控制；
14）制动油道油压，制动系统；
15）悬挂液压，悬挂系统；
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关键词： MEMS
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