X-FAB投入超过5000万美金在MEMS的运营上
德国艾尔芙特 – X-FAB Silicon Foundries，日前宣布为了MEMS的营运将在未来的三年投资5000万美金以上在无尘室、新设备、研发与人员，这些投资也反映X-FAB意义深远地聚焦在MEMS以因应预期中MEMS的成长。新品牌”X-FAB MEMS Foundry”在德国艾尔芙特的X-FAB厂区内完全专注于先进的MEMS生产与研发，并将整合所有X-FAB MEMS的业务。
X-FAB执行长Rudi De Winter表示，”在X-FAB所有的业务中，MEMS是一块策略领域以服务我们客户不断成长的需求。我们的客户将受益于只专注在先进MEMS技术的专用资源与专业的代工，并建立在X-FAB卓越技术的坚固基础上。此举将带领X-FAB朝向我们的目标，成为全球前三大MEMS代工服务的供货商。”
X-FAB近期MEMS的技术成就包含:
- 业界首个为MEMS三轴惯性传感器(3-axis inertial sensor)提供的开放性平台，一个可以直接从代工厂量产的制程
- 为MEMS完成专用的贵金属设备
- 生产8英吋MEMS的能力
- 可大量制造并整合CMOS的bulk与表面微机械加工技术
- 为主流MEMS应用所发展的内部技术平台，如压力传感器、惯性传感器、红外线传感器
- 可立即使用的MEMS加速度计的IP
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