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图3 通过短路线的电流波形

图4 通过500Ω电阻的电流波形

　　测试步骤：

　　静电放电测试时要求一次至少使用三个样本，每个样本规定的静态和动态参数都要事先进行测试并记录。

　　① 在试验器插座上（A，B端）分别插上评价负载（短路线和R2）；电流探针置于B端处；按表4设置试验器充电电压；

　　② 分别引发试验器脉冲，观测电压波形，要求上升时间、峰值电流和振铃波形满足要求。采用拍照或数字贮存方式记录这些波形。

　　③ 在试验器插座上换上被测器件（DUT）进行放电试验，通常按表4从最低电压档开始，每个被测器件应采用一个正向和一个反向脉冲试验，允许脉冲之间至少间隔0.3s时间。

　　④ 在室温下测试样本的所有静态和动态参数。如果要求多个温度，首先从最低温度开始。

　　⑤ 如果所有三个样本都通过规定数据的参数测试，则再用表4中更高一挡电压试验。记录通过的最高电压档。

　　⑥ 如果有一个或多个样本失效，重新用三个新的样本，以降低一挡表4中电压进行试验。如果继续有失效，再降低一挡，如果还有失效，则停止试验。

　　⑦ 按表4进行分级。

2） 机器模式的静电放电敏感性测试

图5　机器模式的静电放电敏感性测试原理图