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　　1 光栅位移传感器测量原理

　　将光源、两块长光栅(指示光栅和标尺光栅)、光电检测器件等组合在一起构成的光栅传感器通常称为光栅尺。当两块光栅以微小倾角重叠时，在与光栅刻线大致垂直的方向上就会产生莫尔条纹，在条纹移动的方向上放置光电探测器，可将光信号转换为电信号，这样就可以实现位移信号到电信号的转换。目前使用的光栅尺的输出信号主要有2类：一类是相位角相差

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关键词： 测试 测量 光栅位移 传感器 CPLD 测量工具