Brewer Science发布新型光感化合物专利 用于MEMS器件制造

物联网与传感器 时间:2010-04-27来源:电子产品世界

  半导体及微电子市场高新技术创新公司Brewer Science宣布公司在美国获得了一项新专利,该专利是关于一种新型光感化合物,在MEMS器件的制造过程中可用作保护层。

关键词: 传感 MEMS

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