CMP 建模的机器学习方法

  上传用户:nakey 上传日期:2021-01-20 文件类型:PDF
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大多数 IC 制造商使用 CMP 建模来检测潜在弱点,作为其 DFM 流程的一部分。然而,为 FCVD 和 eHARP CMP 工艺构建基于物理特性的模型或简化模型实际上很困难,因为这些工艺包含若干沉积和退火步骤以填充沟槽。实验表明,利用机器学习和神经网络对这些及其他 CMP 工艺进行氧化物沉积轮廓建模是该技术的一个很有前景且令人激动的应用。……

关键词: 机器学习   神经网络   CMP  

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