ASML两款光刻机出口许可被撤销

EDA/PCB   作者:陈玲丽编译 时间:2024-01-04来源:电子产品世界

1月2日,全球光刻机龙头ASML在官网发布声明称,荷兰政府最近撤销了此前颁发给其2023年发货NXT:2050i和NXT:2100i光刻机的部分出口许可证,这将对ASML在中国内地的个别客户产生影响。

在声明中,ASML表示:“在新的出口管制条例下,今年(指2023年)年底前ASML仍能履行已签订的合同,发运这些光刻设备。客户也已知悉出口管制条例所带来的限制,即自2024年1月1日起,ASML将基本不会获得向中国客户发运这些设备的出口许可证。”预计此次出口许可证撤销及最新的美国出口管制限制不会对公司2023年的财务情况产生重大影响。

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根据ASML官网消息,其浸润式DUV光刻机主要包括NXT:2100i、NXT:2050i、NXT:2000i和NXT:1980Di,此次荷兰政府部分撤销出口许可证的两种型号DUV光刻机,为其继NXT:2000i之后推出的两种最新的浸润式DUV光刻机。

2023年3月,荷兰政府的出口限制新规要求ASML需要申请出口许可证才能装运DUV光刻机,主要涉及能生产先进制程芯片的高端DUV光刻机型号的采购,暂不影响2000i之前的型号。ASML去年也向荷兰政府便申请了出口许可,获批能够在2023年年底前继续履行客户合同。

而美国去年10月17日公布的出口管制新规,对用于一些先进生产设施的某些次关键DUV浸没光刻系统施加了限制。值得注意的是路透社提到,根据美国政府此前宣布的新规,如果阿斯麦Twinscan NXT1930Di光刻机含有任何美国部件,华盛顿也有权限制其出口。

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ASML透露,最近该公司与美国政府就美国的出口管制法规的范围和影响进行了讨论。报道称,在荷兰新的对华出口管制1月全面生效前,ASML持有可向中国公司提供三款顶级浸润式深紫外光刻机的许可证。知情人士称,在ASML的出口许可证到期前数周,美国政府就要求ASML立即取消一部分向中国出口的设备,但并不清楚其具体的数量,这些设备每台的成本可能高达数千万美元。美国白宫国家安全委员会和荷兰外交部发言人拒绝置评。

按照ASML的说法,2023年基本交付了中国大陆客户预付的DUV积压订单。事实上,2023年ASML一直都在向中国客户供应光刻机,其中就包含了NXT:2000i和更先进的DUV型号的产品,但先进的7nm、14nm等先进的EUV光刻机,ASML依然不能给中国客户出售。

与此同时,中国企业也在加紧储备被限制的光刻机设备。根据中国海关的数据,2023年7月至11月间,中国进口的光刻机激增了五倍多。ASML去年10月财报显示,2023年第三季度若单看销售额,该公司有46%的销售收入来自中国大陆,去年同期仅15%。

ASML即将离任的首席执行官Peter Wennink在2023年10月份就告诉投资者,这些新的限制措施将影响该公司在中国多达15%的销售额。Peter Wennink还曾公开反对这些措施,警告这最终或促使中国在高端芯片制造设备领域成功研发出自己的技术。“你越给他们施加压力,他们越有可能加倍努力。”他去年1月接受彭博社采访时说,“如果他们不能得到这些机器,他们就会自己研发这些机器。这需要时间,但最终他们会达到目标。”

关键词: ASML 光刻机 DUV EUV

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