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　　德国激光巨头通快公司最近一个财年激光技术的销售额增长了17%，盈利能力也急剧增长，并预计其高功率CO2激光器放大器将在未来的几个月内迎来大订单，将主要用于极紫外(EUV)光刻应用。

　　在最近的一个财年，通快集团的税前利润增长了44%，达到了3.57亿欧元，总销售额增长了5%、达到了27.2亿欧元。激光器相关产品的销售(其中包括通快采用激光器的机床配备)同比增长8%，达到18.6亿欧元。

　　通快最近一个财年的亮点之一是，在柔性显示器的生产中采用通快的紫外激光器，通快将今年描述为向EUV技术“过渡”的一年——尽管最初用于测试系统的订单爆发后，出现了一段安静时期。然而，今年4月来自芯片制造商ASML的消息无疑提振了市场信心——ASML公司订购了15台通快的EUV光刻工具，通快表示在不久的未来积极布局极紫外激光器。

　　“这项技术目前正处于一个决定性阶段，”通快表示，“客户针对EUV技术的实验室阶段正接近尾声，目前正在准备最新一代芯片的大规模生产。” 该公司在其年度报告中补充道：“有了积极的实验室结果和长期的大订单，制造商大都已经接受了EUV技术的突破，而不再对该技术持怀疑态度。”

　　目前通快公司正投资7000万欧元在德国迪琴根建设一座占地34000平方米的工厂，用于生成极紫外光刻所需要的激光器产品。“我们已经准备好了在未来的一个财年迎接大订单，”通快公司补充说，今年5月，通快已经与ASML建立了一个“战略框架协议”。

　　预期EUV应用订单的迅猛增长，是通快预期目前财年中激光技术销售将进一步快速增长的一个关键因素。“我们预计EUV产品的主要订单将来自于智能手机所使用的强化玻璃显示屏的切割，”通快表示，“此外，紫外激光器在柔性平板显示屏制造中的采用也将增加。”

关键词： 激光器 CO2