一种单轴MEMS陀螺仪信号处理电路设计
根据控制理论，对于二阶系统，其Q值在0．707时系统稳定并响应最快。因此，在其他条件已知的情况下，该环路最优响应对应的滤波器电容为
2．2 开环检测带宽分析
开环检测工作原理如图3所示，当驱动轴稳定工作在其谐振频率后，φ=-π／2，通常ωdω，如果Qs足够大，则φ≈0，通过低通滤波就可以得到跟输入ωΩ相关的电压。对于单质量块的MEMS陀螺仪，其频率响应如图4所示。
设输入角速度信号频率为ωΩ，则检测轴的位移为
3 CV转换模块的设计
对于MEMS陀螺仪信号处理电路而言，CV转换模块的输出是后续信号处理的基础，所以CV转换模块对于MEMS陀螺仪信号处理电路的重要性不言而喻。
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