一种单轴MEMS陀螺仪信号处理电路设计
设压控振荡器的输出为Vppcosθ，静电驱动力为Fdcosθ，位移x=acos(θ+φ)，则
采用平均方法对式(11)进行化解，由于θ的变化速度要远远>φ和VLF的变化速度，根据平均方法，sin(2θ+2φ)、cos(2θ+2φ)、cos(2θ+φ)均为0，则式(11)可化解为
对于式(12)和式(13)组成的一阶微分方程组，可以通过劳斯判据判定其稳定性，其稳态下的Jacobian矩阵为
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