电子产品世界

　　领先的MEMS设计供应商Coventor和纳电子研究中心imec共同宣布战略合作，以改善和拓展CMOS和MEMS集成技术的设计与制造。合作将包括双方研发路线的统一，及研究内容的互补。双方将共同为imec的SiGe MEMS-above-IC工艺开发工艺设计包。

关键词： imec MEMS

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