ASMI高k设备向台湾代工厂出货 TEL购买ASMI股份
ASM International透露其竞争对手Tokyo Electron Ltd.已收购了其4.9%的股份。
ASMI还宣布某家台湾代工厂已选择了ASMI的Pulsar原子层淀积(ALD)设备，用于28nm节点高k栅介质工艺的量产。
业界猜测该代工厂是台积电。台积电正在开发28nm高k金属栅工艺，但该公司拒绝对细节进行评论。其竞争对手联电也在开发28nm高k工艺。
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