Fourier变换轮廓术中参数的选择和优化研究
引入物面倾面
将式(3)代入后有： 
由式(4)可知，当减小夹角θ时，tgθ亦减小，fn得到压缩，而等效波长λc却增大，所以频谱的压缩是以系统测量精度的降低为代价的。
压缩夹角θ，使基频同零频和高频完全分离，须满足条件：
式中，fb为零频最大值。解得各次谱完全分离时夹角θ所必须满足的条件为：
必须对(f0-fb)／f0与1／3进行比较，以决定θ的选择。不考虑零频的影响，假设各次频谱完全分离时的夹角为θc，则θc由下式确定：
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