Bosch选择Lam Research的刻蚀系统用于MEMS制造

工控自动化 时间:2009-03-10来源:SEMI

        全球领先的半导体晶圆制造设备供应商Lam Research近日宣布Robert Bosch GmbH选择了其TCP 9400DsiE深硅刻蚀系统。Bosch是全球领先的MEMS传感器制造商,特别专注于汽车传感和消费电子市场。

关键词: Bosch 传感器

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