NanoPhotonics向ISMI出货450mm晶圆检测设备
据Semiconductor International网站报道，NanoPhotonics与ISMI签订合约，将向ISMI出货两台用于450mm晶圆的缺陷检测设备。
这两台设备分别是Reflex MC 450和BevelCam MC 450，两台设备将和450mm设备前端模块一同集成于ISMI 450mm协同测试试验台。
关键词： NanoPhotonics ISMI 晶圆
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