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        SEMI日前发布了五项新技术标准，涉及半导体、MEMS以及光伏制造产业，由设备及材料供应商、SEMI国际标准项目小组等的技术专家共同制定而成。

        此次新标准包含了对于光伏硅原料的检测方法。SEMI国际标准总监James Amano,表示，“随着光伏产业的迅速发展，SEMI已就光伏产业创建了一套标准体系。相信新标准的建立对于设备及工艺领域将有所保障。”

        五项标准分别是：

        SEMI E151
        Guide for Understanding Data Quality
        
        SEMI F107
        Guide for Process Equipment Adaptor Plates
        
        SEMI M75
        Specifications for Polished Monocrystalline Gallium Antimonide Wafers
        
        SEMI MS8
        Guide to Evaluating Hermeticity of MEMS Packages

        SEMI PV1
        Test Method for Measuring Trace Elements in Photovoltaic-Grade Silicon by High-Mass Resolution Glow Discharge Mass Spectrometry

关键词： 光伏硅 半导体 MEMS 光伏