集成电路封装中的玻璃基板:下一代先进封装核心材料解析

EDA/PCB 时间:2026-05-06来源:EEPW编译

在半导体工厂里,拾放机正将硅芯片精准贴装到基板上 —— 这是芯片封装的关键一步。如今,玻璃基板正逐渐取代传统有机 ABF 基板,成为先进半导体封装的新选择,尤其适配 AI 加速器、高性能计算(HPC)和 Chiplet 芯粒架构等高端场景,满足其对机械性能和电气性能的全新要求。

目前,已有不少企业开始采用或计划切换到玻璃基板,核心目的是提升 I/O 密度、保障器件可靠性、控制封装翘曲和平面度,还能省去封装中的硅中介层。随着玻璃基板逐步走向商用,了解它的优势的作用,能帮助研发人员把握未来芯片集成的发展方向。

传统有机基板的 “瓶颈”

现代 AI 和 HPC 处理器多采用超大尺寸封装,通过 2.5D、3D 和 Chiplet 技术集成多颗芯片。传统有机基板(多为 ABF 工艺)虽能实现精细布线,但在大尺寸封装中存在明显短板:容易吸湿、热膨胀系数(CTE)比铜和硅高,高温组装时易产生应力,非对称结构易翘曲,还会因平面度不足导致 BGA 焊接缺陷。

随着芯片尺寸扩大、芯粒数量增加,有机基板的翘曲问题愈发难以控制。罗格斯大学博士后 Preeya Kuray 指出,有机芯板因高分子组分模量低,翘曲严重,而玻璃模量高、CTE 低,是理想的替代材料。此外,常用的硅中介层面积有限,玻璃基板不仅能替代有机芯板,还具备面板级量产的潜力,更适配 AI 时代的需求。

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玻璃基材包装设计示例,采用SiO2积累膜。来源:IMAPS

什么是玻璃 IC 基板?

玻璃基板用特种工程玻璃替代有机芯板,在玻璃表面制作重布线层(RDL),通过玻璃通孔(TGV)实现垂直互连,是封装的核心结构载体(区别于叠加在有机芯板上的玻璃中介层)。

它的核心优势十分突出:CTE 可调校至接近硅(硅约 2.5ppm/℃,玻璃约 5ppm/℃),表面平整、尺寸稳定,能提升大尺寸封装的光刻对位精度和良率;介电常数(Dk)低于 ABF、FR4 等有机材料,搭配新型芯片材料可使整体 Dk 低于 3,能突破 56GHz 以上传输极限,满足 448G-PAM6 信道需求,提升高速互连的信号完整性。

此外,还可直接在玻璃上生长二氧化硅(SiO₂)作为积层薄膜,无需激光打孔,直接通过蚀刻和金属化制作多层电路,大幅减少有机积层薄膜贴合时的对位偏差。

玻璃与有机材料的关键对比

采用玻璃基板的核心是解决大尺寸封装的尺寸稳定性问题,除此之外,它在高密度、高带宽封装中还有更多优势:玻璃与硅、铜的 CTE 匹配度更高,能降低芯片贴装凸点的界面应力,提升封装和 PCB 贴片良率及热机械可靠性。

不过需要注意,即便用玻璃芯板,表面的有机积层薄膜在温度波动时仍会发生位移。Weiner 国际咨询公司总裁 Gene Weiner 表示,有机积层薄膜的散热问题突出,升温或工作发热时易形变,若改用 SiO₂替代有机积层薄膜,可进一步提升热可靠性,尤其适合超大尺寸多芯片组装场景。

玻璃基板并非简单的材料升级,而是先进封装的结构性变革。当前,AI 和 HPC 器件的尺寸、带宽、I/O 密度持续提升,基板的机械和介电性能已成为瓶颈,玻璃基板恰好能解决翘曲、CTE 失配等难题,支撑下一代高速低损耗互连。尽管制造工艺仍在成熟中,但它已完全契合未来高性能封装的发展需求。

玻璃基板凭借低翘曲、低介电损耗、CTE 与硅高度匹配等核心优势,有效弥补了传统有机 ABF 基板的短板,完美适配 Chiplet、2.5D/3D 封装及 AI、HPC 高端算力芯片的封装需求。随着制造工艺的不断成熟,玻璃基板有望成为后摩尔时代先进封装的核心基材,为大尺寸、高带宽、高可靠芯片封装提供全新技术路径,推动半导体封装产业升级。

关键词: 玻璃基板 集成电路封装 先进封装

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