IC制造工艺
上传用户:tvro_china
上传日期:2009-03-06
文件类型:RAR
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IC制造工艺
关键词: IC 外延生长 MASK 曝光技术 氧化 刻蚀 扩散 离子注入 多晶硅沉积 金属层形成

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