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(5)位移传感器悬臂梁长20cm，光纤光栅距离悬臂梁自由端距离为10cm；

(6)位移传感器悬臂梁长20cm，光纤光栅距离悬臂梁自由端距离为15cm；

通过对实验得到的定标数据进行处理与总结，得到本方案位移传感器的传递函数及其线性范围如下表所示：

从表中可以看出，此位移传感器的线性区间最大为16mm，线性相关系数最好可达到0．9995；在悬臂梁长度一定时，光纤光栅越远离悬臂梁自由端，其灵敏度越高；当光纤光栅距离悬臂梁自由端的距离一定时，悬臂梁越长，其灵敏度越低。

4 结语
本传感器方案结构简单、线性度好、抗外界干扰能力强。最大线性区间为16mm，线性相关系数最好可达到0．9995。但光纤光栅位移传感器的灵敏度与线性度不能够同时达到最好，使用时可以根据实际需要兼顾考虑，此方案和实验结果有很好的实用性与使用前景。

关键词： 光纤光栅 悬臂梁 位移传感器 传递函数 温度自补偿